こちらは、キーエンス製の白色干渉計搭載レーザ顕微鏡 VK-X3000です。最高分解能は0.01nmを誇る測定機で、従来の投影機では測定が困難だった微細形状でも正確に測定ができるのが特徴です。またサンプルに合わせて、レーザー共焦点、白色干渉、フォーカスバリエーションという３つの方式の中から最適なスキャン方法を選定するため、対象物を選ばずに幅広い分野で高精度測定をすることができます。

当社の特注工具の中には、微細加工が必要な工具も多くございます。こちらのレーザー顕微鏡を用いることで微細な領域を測定できるようになり、東鋼ならではの微細加工技術を確立することができました。